Кремний нитридінің түрлері

Кремний нитридінің түрлері
Материалдың қасиеттері өндіру әдісіне қатты тәуелді болғандықтан, кремний нитридін бір материал ретінде қарастыруға болмайды. Кремний нитридінің үш негізгі түрі:

Реакциямен байланысты кремний нитриді (RBSN)
Ыстық басылған кремний нитриді (HPSN)
Агломерленген кремний нитридтері (SSN)
Реакциялық байланысқан кремний нитриді тығыздалған кремний ұнтағын тікелей нитридтеу арқылы жасалады және толық реакцияны қамтамасыз ету қиын болғандықтан, жоғары құрамдас тығыздыққа жету қиын. Ыстық сығымдалған және агломерленген кремний нитриді үшін 3200кг.м-3 салыстырғанда әдеттегі тығыздықтар 2300 - 2700кг.м-3 диапазонында. Жоғары тығыздық HPSN және SSN материалдарына жақсы физикалық қасиеттер береді және олардың неғұрлым талап етілетін қолданбаларда қолданылатынын білдіреді. Нитридтеу тек шағын көлемдік өзгерістерді тудырады, бұл RBSN компоненттерін дайындағаннан кейін өңдеуді қажет етпейтінін және бір технологиялық сатыда күрделі желіге жақын пішіндерді шығаруға болатындығын білдіреді.