Алюминий нитриді субстрат

Муллитсубстрат(3 a1203. 2Si02): A1203-Si02 екілік жүйесіндегі ең тұрақты кристалдық фазалардың бірі, бірақ механикалық беріктігі мен жылу өткізгіштігі A1203-пен салыстырғанда төмен, бірақ оның диэлектрлік тұрақтысы төмен, сондықтан сигналды одан әрі жақсарту күтілуде. беру жылдамдығы. Жылулық кеңею коэффициенті де төмен, ол LSI жылу кернеуін төмендетуі мүмкін, ал өткізгіш материалдың жылулық кеңею коэффициентінің айырмашылығы Mo, W аз, осылайша цикл кезінде өткізгіш арасында төмен кернеу болады.

Алюминийнитридті субстрат:
а. Шикізат: AIN - бұл табиғи емес, бірақ жасанды минерал, 1862 жылы алғаш рет Гентер және т.б. синтездеген. Aln ұнтағының өкілдігі нитридтік әдісті және тікелей нитридтеу әдісін азайту болып табылады. Біріншісі A1203 құрамындағы жоғары таза көміртегі тотықсыздануымен әрекеттеседі, содан кейін азотпен әрекеттеседі, ал екіншісі тікелей азоттау. ;

б. Өндіріс әдісі: A1203субстратөндірісті AIN субстраттарын өндіруде қолдануға болады, мұнда органикалық ламинация әдісін максималды пайдалану, яғни AIN шикізат ұнтағы, органикалық желім және еріткіш, беттік белсенді зат аралас керамикалық суспензия, өткізілген, ламинат, ыстық престеу, майсыздандыру, жағу

C. AIN субстратының сипаттамалары: AIN 10 еседен астам, ал CTE кремний пластинасына сәйкес келеді. AIN материалы салыстырмалы түрде A1203-ге қатысты, оқшаулау кедергісі, оқшаулау және диэлектрлік тұрақты төмен. Бұл мүмкіндіктер орауыш субстрат қолданбалары үшін өте сирек кездеседі;

г. Қолданылуы: VHF (ультра жоғары жиілікті) жиілік белдеуінің қуат күшейткіш модулі, жоғары қуатты құрылғы және лазерлік диодты субстрат үшін қолданылады.