Кремний нитриді субстратөте жоғары беріктік сонымен қатар оларды олар қолданылатын өнімдердің қызмет ету мерзімі мен сенімділігін арттыратын негізгі материалға айналдырады. Кремний нитриді субстраты әртүрлі электрондық және инженерлік қолданбаларда қолданылатын материал болып табылады. Кремний нитриді (Si3N4) – кремний (Si) мен азоттан (N) жасалған керамикалық қосылыс. Ол өзінің тамаша механикалық, жылулық және электрлік қасиеттерімен танымал, бұл оны әртүрлі қолдану үшін әмбебап материал етеді.